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蔡司扫描电镜日常维护的十一个要点
浏览次数:429发布日期:2020-05-18
   扫描电子显微镜(SEM)自诞生之日起,它结合不同附件其可以应用在不同领域范围中。蔡司扫描电镜在这一领域里受到普遍欢迎和认可,它常见的应用场景包括了断裂失效分析、产品缺陷原因分析、镀层结构和厚度分析、涂料层次与厚度分析、材料表面磨损和腐蚀分析、耐火材料的结构与蚀损分析等等。
  作为一款高精密的电子仪器,除了正确操作使用之外,做好日常维护是必不可少的,下面我们就来看看维护要注意哪些事项。
  蔡司扫描电镜的日常维护:
  1、保持仪器操作台面整洁,不允许身体倚靠,冻水机等装置不可放置重物;
  2、开机时一定要先开水冷系统,并要检查冷却水的温度,关机至少15分钟后才能关闭冷却水;
  3、进样品时,检查Z轴和T轴的位置、缓缓关闭样品室,确保进样仓门彻底关闭,才可点击EVAC按钮抽气;
  4、移动样品,通过配合移动Stage Driver 将载物台向X轴和Y轴方向移动,从而移动样品,并保证小于最大允许值;
  5、倾斜样品,-10°~+45°,要十分当心,不要撞坏探头。要根据样品台和样品状况选择倾斜角度,注样品可倾斜的最大安全角度必须小于允许值,防止样品撞伤物镜极靴;
  6、用BSE探头时不可倾斜样品台;
  7、样品只有在加速电压关闭的情况下才可取出,不作样品扫描时要关闭高压;
  8、放气时HT必须处于关闭状态,必须等待120秒后才可轻轻拉开样品交换仓的门;
  9、更换钨灯丝时, 等待两分钟时间,然后打开电子枪,用专门的器具取出钨灯丝连同钨灯丝罩,以免被烫伤;
  10、电镜需要手动调节的部分主要有光阑,象散,工作距离调节的旋钮等,其他部件不允许调整;
  11、每周加两到三次液氮,两次间隔不超过四天。
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